Wprowadzenie

Syprus jest symulatorem procesu wytwarzania używanego w przemyśle półprzewodnikowym. Może być użyty by symulować typowe procesy VLSI: nMOS, CMOS ze studnią typu p i CMOS ze studnią typu n. Dodatkowo Syprus przelicza parametry modelu tranzystorów MOS wytwarzanych w tych procesach: elementy z kanałem wzbogaconym typu n, z kanałem wzbogaconym typu p i z kanałem zubożonym typu n

Fizyczne procesy w wytwarzaniu półprzewodników i operacje na elementach półprzewodnikowych opisane są przez złożony zbiór równań różniczkowych. Syprus nie rozwiązuje tych równań różniczkowych numerycznie, lecz jest oparty o znacznie prostsze matematyczne przybliżenia. Przybliżone analityczne rozwiązania stosowane są wszędzie, gdzie to jest możliwe.

Edukacyjna wersja programu Syprus pozwala na symulowanie 3 standartowych procesów MOS: nMOS, CMOS ze studnią typu n i CMOS ze studnią typu p. Kolejność etapów wytwarzania jest ustalona, ale parametry technologicznych operacji, takie jak: temperatura, czas trwania, dawki domieszek itp. mogą być zmodyfikowane.

Syprus udostępnia trzy podstawowe modele symulacji:

• Symulacja procesu nominalnego - simulation of nominal process
• Prosta symulacja statystyczna - simple statistical simulation
• Symulacja statystyczna oparta na liście połączeń - netlist driven statistical simulation